Пыль не больше пяти микрон

В Томском политехническом университете появилась «чистая» лаборатория шестого класса чистоты
Это означает, что в ней нет частиц пыли размером более пяти микрон. Помещение оборудовано специализированными вытяжками и фильтрами, а сотрудники попадают в него только в защитных костюмах.
Подобные комнаты есть в нескольких вузах Москвы и Санкт-Петербурга. Уникальность томской лаборатории в том, что она предназначена именно для работы с микроэлектромеханическими системами. Здесь разрабатывают, изготавливают и проверяют ядро микросхем акселерометров и гироскопов. «В Томском политехе уже давно развивается направление, связанное с электроникой для космических систем. Вуз выполнял два проекта по федеральной целевой программе по созданию микроэлектромеханических систем (акселерометры, гироскопы) нового поколения. В последнем из проектов стояла задача изготовить опытные образцы таких систем. Ее невозможно было выполнить без наличия «чистой» лаборатории», — пояснил директор школы неразрушающего контроля и безопасности ТПУ Дмитрий Седнев.
На данный момент в вузе изготовлен акселерометр, позволяющий определить положение на местности без подключения к спутнику. Разработку уже передали индустриальному партнеру. Сейчас специалисты перешли на следующий этап. В частности, обсуждаются условия договора с Российскими космическими системами. Компания собирается заказать ТПУ также разработку акселерометра и в дальнейшем наладить у себя его производство.
Лаборатория создана на средства Федеральной целевой программы Минобрнауки РФ. Вместе с оборудованием ее стоимость составляет порядка 10 миллионов рублей. И сама комната, и оборудование в ней (электронный микроскоп, термовакуумная камера, устройство для разваривания контактов в датчиках) — российского производства.